超高倍率観察をする場合には、収差の影響でどうしても観察物のエッジがぼけてきます。収差はレンズの性能の１つです。
レンズを選択することで、ある程度収差を押さえることができます。但し、商品価格にも大きく影響しますので、観察物に応じてレンズの使いわけが必要かと思います。

弊社では、
（１）汎用の超高倍率レンズと、
（２）極限まで性能を上げた、高性能の超高倍率レンズを
ご用意しております。

シリコンウエハー上のパターンを2つのレンズで観察してみました。1200倍で観察いたしました。
USBカメラには、USB3.0カメラCS500-GCを使用いたしました。

汎用レンズの場合（NSH500CSU）

汎用レンズでは1μmピッチの対象物は
エッジが膨らみ、一体化したように
見えてしまいます。

使い分けの基準

1μmの対象物が接近することなく
存在していれば、汎用レンズでも
有無確認や位置確認ができます。
異物チェック、パターンの有無などで
ご使用いただけると思います。

高性能レンズの場合（USH500CSU-H1）

高性能レンズでは1μmピッチの対象物も
個別に確認できます。

使い分けの基準

1μmレベルの変化のある表面観察や
同じ色の粒子が集まった状態での
粒子観察などは高機能レンズが
必要かと思います。