低価格・高品質の光学機器が何でも揃う 株式会社松電舎
高さ測定マイクロスコープ
¥ 1,714,000 + tax
ミクロン単位の高さ計測が可能!
超高倍率だから実現できる高精度
●高さが測れるインジケーター付き
●最大倍率2700倍の超高倍率!
●色収差を極限まで低減
●エッジがよりシャープに
●日本トップレベルのズーム比12
●超高倍率域での画面揺れを防ぐため、グローバルシャッターを採用
●従来のハイエンド機の1/4の価格
●同軸照明タイプ
●2点間距離の測定ができる簡易計測ソフトが標準装備
USH専用スタンドに、
ABSデジマチックインジケータを取付けました。
・測定範囲:25.4mm
・最小表示量:0.001mm(0.001/0.01mm切換可)
・インジケーター精度:0.003mm

<使用例>スマホの液晶面から保護フィルムの表面までの高さを測定した動画
1000倍で10円玉の表面を観察


1200倍でシリコンウェハーの表面を観察



必要なものだけを揃え、必要のない機能は省きました。
オートフォーカス、焦点合成機能は付属しません。
より綺麗な画像で観察するためレンズに力を注ぎました。
日本トップレベルのレンズで観察した高画質の画像をご覧ください。


※テスト依頼を承っております。お気軽にご連絡ください。
超高倍率観察をする場合には、収差の影響でどうしても観察物のエッジがぼけます。収差はレンズの性能の1つです。
レンズを選択することで、ある程度収差を押さえることができます。
但し、商品価格にも大きく影響しますので、観察物に応じてレンズの使いわけが必要です。
弊社では、
(1)汎用の超高倍率レンズと、
(2)極限まで性能を上げた、高性能の超高倍率レンズを
ご用意しております。
シリコンウエハー上のパターンを2つのレンズで観察してみました。1200倍で観察いたしました。
USBカメラには、500万画素USB3.0カメラCS500-GCを使用いたしました。

汎用レンズの場合(NSH500CSU)
汎用レンズでは1μmピッチの対象物はエッジが膨らみ、
一体化したように見えてしまいます。
使い分けの基準1μmの対象物が接近することなく存在していれば、
汎用レンズでも有無確認や位置確認ができます。
異物チェック、パターンの有無などにご活用いただけます。

高性能レンズの場合(本機)
高性能レンズでは1μmピッチの対象物も個別に確認できます。
使い分けの基準1μmレベルの変化のある表面観察や同じ色の粒子が
集まった状態での粒子観察などは高機能レンズが推奨されます。

同軸照明(LED同軸落射照明)とは一旦照明をレンズ内に入れて、レンズ方向から
垂直に照明を落射させ観察物を照射し、その反射光を同じレンズで受け取る方法のこと。
通常のリング照明ではハレーションが起こりやすい、金属、樹脂、シリコンウェハなど
光反射率の高い対象物、銀色にメッキされたシールやフィルムなどの表面観察にも適しています。
拡散反射物の観察にはリング照明が適しています。
研磨された金属表面を観察しました。



シリコンウェハーを観察しました。



金属メッキ部品を観察しました。



※印刷物などの光が拡散する対象物には同軸照明は不向きです。



※同軸照明に向かない対象物についてはこちらから
標準装備の簡易計測ソフトの機能
*校正用ガラススケールはオプションです。






●主な違いを表にまとめてあります。必要な機能に合わせてお選びください
| MFShip(無償版) | MFShip(有償版) | |
| 2点間距離 | ○ | ○ |
| 多機能計測 | × | ○ |
| エッジ自動フィット機能 | × | ○ |
| フォーカス合成機能 | × | ○ |
| HDR合成機能 | × | ○ |
| 画像連結機能 | × | ○ |
| Excel 出力 | ○ | ○ |
| 画像データのサムネイル表示 | ○ | ○ |
| 画面表示倍率変更 | ○ | ○ |
| クロスライン表示 | ○ | ○ |
| 格子目盛表示 | ○ | ○ |
| 対応OS | Windows 10、11(64bit) | Windows 10、11(64bit) |
| トータル倍率 | 230倍-2700倍 ※倍率は17インチモニタ換算の計算値 |
|---|---|
| 作動距離 | 14mm ※倍率に関わらずほぼ一定です。 |
| 視野範囲 | 1.5mm×1.25mm (230倍時) |
| 0.12mm×0.1mm (2700倍時) | |
| 撮像素子 | 1/2”CMOS |
| シャッター方式 | グローバルシャッター |
| 画素数 | 500万画素 |
| ピクセルサイズ | 2.5μm×2.5μm |
| 代表的な解像度 (フレームレート※) | 2600×2160 (59.8fps) ※実際のフレームレートはパソコンの性能、設定環境により異なります。 |
| 対応OS | Windows 10 、11 |
|---|---|
| CPU | Intel core i5以上 |
| メモリ | 8GB以上 |








(pdf/60 KB)
(zip/1 MB)
(pdf/57 KB)
(zip/21 KB)
(pdf/285 KB)
(zip/146 KB)
(zip/278 MB)
(zip/180 MB)
32bit環境ではご使用できません。
有償版USBキーを挿さない場合は 機能制限版として起動します
(pdf/513 KB)
(pdf/548 KB)
(pdf/590 KB)
We also have a wide range of case studies and technical documents available.
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