高さ測定マイクロスコープ

    超高倍率高解像度USBマイクロスコープ USH500CSU-H3W-CNX

    ¥ 1,714,000 + tax

    • デモ機無料貸出
    • 230倍-2700倍
    • USB3.0
    • 高性能
    • 超高倍率

    ミクロン単位の高さ計測が可能!
    超高倍率だから実現できる高精度

    ●高さが測れるインジケーター付き
    ●最大倍率2700倍の超高倍率!
    ●色収差を極限まで低減
    ●エッジがよりシャープに
    ●日本トップレベルのズーム比12
    ●超高倍率域での画面揺れを防ぐため、グローバルシャッターを採用
    ●従来のハイエンド機の1/4の価格
    ●同軸照明タイプ
    ●2点間距離の測定ができる簡易計測ソフトが標準装備

    製品の特長

    インジケーター付きで高さ(Z軸)の測定可能

    USH専用スタンドに、
    ABSデジマチックインジケータを取付けました。

    ・測定範囲:25.4mm
    ・最小表示量:0.001mm(0.001/0.01mm切換可)
    ・インジケーター精度:0.003mm

    <使用例スマホの液晶面から保護フィルムの表面までの高さを測定した動画

    資料 → インジケーターでの高さ計測の繰り返し精度について 

    Point1:色収差を極限まで低減!

    1000倍で10円玉の表面を観察

    NSH500CSUで観察した場合
    1000倍を超える超高倍率で観察時には、
    サンプルによっては、波長の違いにより
    色分解を起こしています。
    本機で観察した場合
    超高倍率時でも、
    色分解を起こさず観察することができます。

    Point2:エッジがよりシャープに!

    1200倍でシリコンウェハーの表面を観察

    NSH500CSUで観察した場合
    超高倍率で観察時には、
    サンプルによっては、
    波長の違いにより
    色分解を起こしています。
    本機で観察した場合
    映像が鮮明でエッジもはっきりと出ます。

     

    必要なものだけを揃え、必要のない機能は省きました。
    オートフォーカス、焦点合成機能は付属しません。
    より綺麗な画像で観察するためレンズに力を注ぎました。
    日本トップレベルのレンズで観察した高画質の画像をご覧ください。

    ※テスト依頼を承っております。お気軽にご連絡ください。

    超高倍率での観察

    超高倍率観察をする場合には、収差の影響でどうしても観察物のエッジがぼけます。収差はレンズの性能の1つです。
    レンズを選択することで、ある程度収差を押さえることができます。
    但し、商品価格にも大きく影響しますので、観察物に応じてレンズの使いわけが必要です。

    弊社では、
    (1)汎用の超高倍率レンズと、
    (2)極限まで性能を上げた、高性能の超高倍率レンズを
    ご用意しております。

    シリコンウエハー上のパターンを2つのレンズで観察してみました。1200倍で観察いたしました。
    USBカメラには、500万画素USB3.0カメラCS500-GCを使用いたしました。

    汎用レンズの場合(NSH500CSU)

    汎用レンズでは1μmピッチの対象物はエッジが膨らみ、
    一体化したように見えてしまいます。
    使い分けの基準1μmの対象物が接近することなく存在していれば、
    汎用レンズでも有無確認や位置確認ができます。
    異物チェック、パターンの有無などにご活用いただけます。

    高性能レンズの場合(本機)

    高性能レンズでは1μmピッチの対象物も個別に確認できます。
    使い分けの基準1μmレベルの変化のある表面観察や同じ色の粒子が
    集まった状態での粒子観察などは高機能レンズが推奨されます。

    同軸照明の特長

    同軸照明(LED同軸落射照明)とは一旦照明をレンズ内に入れて、レンズ方向から
    垂直に照明を落射させ観察物を照射し、その反射光を同じレンズで受け取る方法のこと。
    通常のリング照明ではハレーションが起こりやすい、金属、樹脂、シリコンウェハなど
    光反射率の高い対象物、銀色にメッキされたシールやフィルムなどの表面観察にも適しています。

    拡散反射物の観察にはリング照明が適しています。

    同軸照明とリング照明の見え方の違い

    研磨された金属表面を観察しました。

    リング照明を使用した場合
    同軸落射照明を使用した場合

     

    シリコンウェハーを観察しました。

    リング照明を使用した場合
    同軸落射照明を使用した場合

     

    金属メッキ部品を観察しました。

    リング照明を使用した場合
    同軸落射照明を使用した場合

     

    ※印刷物などの光が拡散する対象物には同軸照明は不向きです。

    紙に印刷されたインクのドットを観察します
    同軸落射照明を使用した場合
    ドットがはっきりと観察できません
    リング照明を使用した場合
    ドットがきれいに観察できます

     

    同軸照明に向かない対象物について

    カメラインストール方法

    標準装備ソフトのご紹介(無償版)

    標準装備の簡易計測ソフトの機能

    • 静止画の保存
    • 2点間距離測定
    • スケール表示
    • クロスライン・グリッドライン表示
    • フィットイン機能、デジタルズーム機能
    • 対応OS:Windows 10、11(64bit)
    • *標準付属ソフトウェアは機能制限版です
    • 2点間距離以外の測定や焦点合成機能が必要な場合は
      オプション計測ソフトをお求めください。

    校正用ガラススケールはオプションです。

    計測
    クロスライン
    スケール表示

    この無償版の計測ソフトは・・・

    ●主な違いを表にまとめてあります。必要な機能に合わせてお選びください

    MFShip(無償版)MFShip(有償版)
    2点間距離
    多機能計測×
    エッジ自動フィット機能×
    フォーカス合成機能×
    HDR合成機能×
    画像連結機能×
    Excel 出力
    画像データのサムネイル表示
    画面表示倍率変更
    クロスライン表示
    格子目盛表示
    対応OSWindows 10、11(64bit)Windows 10、11(64bit)

    目玉のくるっと合成も可能!

    仕様

    全体仕様

    トータル倍率230倍-2700倍 ※倍率は17インチモニタ換算の計算値
    作動距離14mm ※倍率に関わらずほぼ一定です。
    視野範囲1.5mm×1.25mm (230倍時)
    0.12mm×0.1mm (2700倍時)
    撮像素子1/2”CMOS
    シャッター方式グローバルシャッター
    画素数500万画素
    ピクセルサイズ2.5μm×2.5μm
    代表的な解像度
    (フレームレート※)
    2600×2160 (59.8fps)
    ※実際のフレームレートはパソコンの性能、設定環境により異なります。

    動作環境

    対応OSWindows 10 、11
    CPUIntel core i5以上
    メモリ8GB以上

    全て標準装備

    500万画素USB3.0カメラ
    高倍率ズームレンズ
    (専用スタンドに取付)
    対物レンズ
    粗微動アングル付専用スタンド
    (ズームレンズ取付済)
    ABSデジマチックインジケータ
    同軸照明(3W)
    付属XYテーブル仕様
    ・ステージサイズ:155×180mm
    ・移動量:75×55mm
    Viewerソフトウェア

    ダウンロード

    Driver

    Software Applications

    • (zip/180 MB)

      32bit環境ではご使用できません。

      有償版USBキーを挿さない場合は 機能制限版として起動します

    Instruction manual and others

    よくある質問

    関連製品

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    We support our customers
    in solving their problems.

    We also have a wide range of case studies and technical documents available.
    Please feel free to contact us with any questions
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    * Available in Japanese language