マイクロスコープで高さ、厚みを測る方法
| もっとも簡単な方法はマイクロスコープとデジタルインジケータと組み合わせる方法です。 レンズはできるだけ被写界深度の浅いものを選びます。 上下させる機構は微動調整機能の付いている方が精度高く測定できます。 |
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１.厚み測定 |
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| 透明または半透明の膜、シートが基材に密着している対象物が測定できる条件となります。
右の対象物は透明の保護シートが商品に密着しています。 シートが薄いので600倍で観察しました。 |
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| 基材（樹脂）に焦点を合わせて インジケータの値をゼロにします。 |
シートの上面に焦点を合わせて インジケータの値を読みます。 これが厚みになります。（107μｍ） |
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２.高さ測定 |
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| １画面で段差部が映し出せる対象物が測定できる条件となります。
左写真のICの高さを測定します。 十分な高さがあるので200倍で観察しました。 |
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| 基板に焦点を合わせて インジケータの値をゼロにします。 |
ICの上面に焦点を合わせて インジケータの値を読みます。 これが高さになります。（2.39mm） |
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| 松電舎ではデジタルインジケータ付スタンド（ハイトゲージ）をご用意しております。 | |
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| インジケータ付粗微動スタンド GRS-1C525 |
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測定精度について
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使用機材 ガラススケールを2個重ねて 計測結果の繰り返し精度を確認しました。 |
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繰り返し精度
約250倍時 ：±8μmほど
約500倍時 ：±7μmほど
約1000倍時 ：±4μmほど
倍率が高い方が繰り返し精度はよくなります。
求める精度にもよりますがやはり1000倍クラスは必要です
自分に合ったマイクロスコープを探す
マイクロスコープには、
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| USBマイクロスコープ | 4Kマイクロスコープ | ハイビジョンマイクロスコープ |
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| 測定マイクロスコープ | 作業用マイクロスコープ | 10万円台マイクロスコープ |
などの種類があります。
用途や観察対象によって最適な機種は異なります。
下記のカテゴリ一覧から、お客様の用途に合ったマイクロスコープをご確認ください。
