超高倍率観察をする場合には、収差の影響でどうしても観察物のエッジがぼけてきます。収差はレンズの性能の1つです。
レンズを選択することで、ある程度収差を押さえることができます。但し、商品価格にも大きく影響しますので、観察物に応じてレンズの使いわけが必要かと思います。
弊社では、
(1)汎用の超高倍率レンズと、
(2)極限まで性能を上げた、高性能の超高倍率レンズを
ご用意しております。
シリコンウエハー上のパターンを2つのレンズで観察してみました。1200倍で観察いたしました。
USBカメラには、500万画素USB3.0カメラCS500-GCを使用いたしました。
汎用レンズの場合(NSH500CSU)
汎用レンズでは1μmピッチの対象物は
エッジが膨らみ、一体化したように
見えてしまいます。
- 使い分けの基準
- 1μmの対象物が接近することなく
存在していれば、汎用レンズでも
有無確認や位置確認ができます。
異物チェック、パターンの有無などで
ご使用いただけると思います。
高性能レンズの場合(USH500CSU-L1)
高性能レンズでは1μmピッチの対象物も
個別に確認できます。
- 使い分けの基準
- 1μmレベルの変化のある表面観察や
同じ色の粒子が集まった状態での
粒子観察などは高機能レンズが
必要かと思います。