Spin coater

¥ 630,000 + tax

A compact spin coater that combines low cost with an included vacuum pump and sample stage.

●低騒音設計のオイルレス真空ポンプ付きコンパクト真空スピンコーター
●簡単かつ迅速にコーティングできる真空チャックを備えています。
●回転速度は、100-10000rpmで、２パターンまでプログラム可能です。
●最大 4 インチウェーハーコーティング
●材質: 陽極酸化アルミニウム試料台
●3個のアルミニウム真空チャック付き: 0D8mm、15mm、55mm
●真空グローブボックス内に入れることもできます。

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Specification

Model Number	SDSEZ4-S
Chamber size	134mm
Maximum wafer size	4 inch（100mm）
Vacuum chuck size	Outer diameter φ8mm、φ15mm、φ55mm
Rotational speed	100～9999RPM
Rotation control	Program control for up to 5 points; callable in 5-step increments.
Rotational resolution	1 rpm
Motor power	75w
Power supply	AC110～230V
Size	250×210×200mm

Surface Roughness Tester Accessories

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