スピンコーター SDSEZ4-S

¥ 630,000 + tax

真空ポンプ・試料台付きで低価格を兼ねそろえたコンパクトスピンコーター

●低騒音設計のオイルレス真空ポンプ付きコンパクト真空スピンコーター
●簡単かつ迅速にコーティングできる真空チャックを備えています。
●回転速度は、100-10000rpmで、２パターンまでプログラム可能です。
●最大 4 インチウェーハーコーティング
●材質: 陽極酸化アルミニウム試料台
●3個のアルミニウム真空チャック付き: 0D8mm、15mm、55mm
●真空グローブボックス内に入れることもできます。

Inquire about products

仕様

型式	SDSEZ4-S
チャンバーサイズ	134mm
最大ウェハーサイズ	4インチ（100mm）
真空チャックサイズ	外径φ8mm、φ15mm、φ55mm
回転速度	100～9999RPM
回転制御	5点までのプログラム制御、 5つのステップごとに呼出し可能
回転分解能	1 rpm
モーターパワー	75w
電源	AC110～230V
サイズ	250×210×200mm

表面粗さ計付属品

オンラインショップで購入する

※アイコンをクリックすると販売ページに飛びます。

Support

We support our customers
in solving their problems.

We also have a wide range of case studies and technical documents available.
Please feel free to contact us with any questions
or requests you may have about our products.