スピンコーター SDSEZ4-S

630,000円（税抜）

真空ポンプ・試料台付きで低価格を兼ねそろえたコンパクトスピンコーター

●低騒音設計のオイルレス真空ポンプ付きコンパクト真空スピンコーター
●簡単かつ迅速にコーティングできる真空チャックを備えています。
●回転速度は、100-10000rpmで、２パターンまでプログラム可能です。
●最大 4 インチウェーハーコーティング
●材質: 陽極酸化アルミニウム試料台
●3個のアルミニウム真空チャック付き: 0D8mm、15mm、55mm
●真空グローブボックス内に入れることもできます。

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仕様

型式	SDSEZ4-S
チャンバーサイズ	134mm
最大ウェハーサイズ	4インチ（100mm）
真空チャックサイズ	外径φ8mm、φ15mm、φ55mm
回転速度	100～9999RPM
回転制御	5点までのプログラム制御、 5つのステップごとに呼出し可能
回転分解能	1 rpm
モーターパワー	75w
電源	AC110～230V
サイズ	250×210×200mm