シリコンウエハーをInGaSカメラを使わずに観察
本検証では、InGaAs カメラを使用せず、通常の撮像素子を搭載した赤外感度の高いカメラ
を用いて、シリコンウエハーの観察を行いました。
使用カメラ・照明条件
使用したカメラの仕様上の感度上限は 1000nm ですが、実測では 1100nm 付近まで
一定の感度が残っていることを確認しています。
本検証では、以下の高輝度赤外照明を組み合わせ、最大照度で使用しました。
レンズ・カメラ設定
●使用レンズ
・赤外用マクロレンズ ×1
・赤外用マクロレンズ ×2
●絞り：すべて 開放
●カメラ設定
・露光時間：100,000 ns（＝100 ms） に固定
■Ｘ１の赤外用マクロレンズ
■Ｘ２の赤外用マクロレンズ
比較用検証（可視光対応レンズ）
比較のため、×2 の可視光対応レンズでも同様の観察を行いました。
●上記と同一のカメラ設定では像を確認できなかったため、
露光時間を 500,000 ns（＝500 ms） に変更して観察
●それでも、ウエハーの輪郭がわずかに確認できる程度に留まりました
これは、通常の可視光レンズでは赤外領域での透過率が低下するためと考えられます。
■Ｘ２の可視光対応レンズ（上記との比較の為、確認）
検証結果・考察
●InGaAs カメラを使用しなくても、
赤外感度の高い撮像素子を搭載したカメラであれば
赤外専用レンズと高輝度赤外照明を組み合わせることで、
シリコンウエハーの観察は可能であることを確認しました。
●ただし、実用的な倍率は ×2 程度が限界と考えられます。
視野について
上記カメラに ×2 の赤外用マクロレンズを装着した場合の視野は以下の通りです。
5.8ｍｍＸ3.5ｍｍ視野（0.5X0.5ｍｍの方眼）
X2で撮影、保存した映像
