シリコンウェーハをInGaSカメラを使わずに観察する方法
松電舎の近赤外線カメラ NM230-IR1000は仕様上1000nmとなっていますが。
1100nm程度まである程度の感度が残っています。
このカメラに下記の高輝度赤外照明を組み合わせて確認します。（最大照度で使用）
レンズはSWIRマクロレンズ×1と×2を使用します。（絞りは開放）
カメラの設定は露光時間100000ns（＝100ms）に固定します。
■×1の赤外用マクロレンズ
■×2の赤外用マクロレンズ
■×2の可視光対応レンズ（上記との比較の為、確認）
上記と同じカメラ設定では何も見えないため、露光時間は500000ns（＝500ms）
に伸ばして観察しますが、それでも輪郭程度しか見えません。
通常レンズでは赤外領域の透過率が落ちているためと考えます。
■結果
InGaSカメラではない、通常の撮像素子でも赤外に強いものであれば
赤外専用レンズと高輝度赤外照明を使う事で
シリコンウェーハの観察は可能です。
上記カメラに×2レンズをつけた場合の視野は下記となります。
5.8ｍｍ×3.5ｍｍ視野（0.5×0.5ｍｍの方眼）
×2で撮影、保存した映像
