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NSHレンズとUSHレンズの解像度比較

NSHレンズの最高倍率付近  1400倍(X5)で比較

 

■レンズの特徴

 

超高倍率(1000倍越え)レンズを使った場合、最大倍率付近では、
レンズ性能の差が顕著に現れます。
・エッジの滲み(収差)
・色の滲み(色収差)

 

対象物によっては、エッジ滲み(収差)や色滲み(色収差)が
見え方に大きく影響する場合があります。
→これを極限まで減らすとレンズ価格が大幅に上がります。
→逆に対象物によっては、コストを大幅に減らすことができます。

 

■影響が少ない例

シリコンウエハーのパターンチェック等は、多少のエッジのボケは
ありますが、十分に観察可能です。(下記写真)

 

<シリコンウエハー>

使用レンズ:NSHレンズ(汎用レンズ)

 

使用レンズ:USHレンズ(高解像度レンズ)

 

■影響の大きな例

エッジのボケも色収差も出ています。異物の有無程度はわかりますが、
詳細な観察はできません。

 

<メッキをかけた金属>

使用レンズ:NSHレンズ(汎用レンズ)

 

使用レンズ:USHレンズ(高解像度レンズ)