ローアングルLED照明を使った透明体、鏡面体の観察

金属体の段差や傷、透明体の埃や異物、鏡面体上の埃、異物の検出を通常の照明で行うと、反射や映り込みが発生して観察ができないことがあります。
1つの方法として暗視野観察という方法があります。(詳細は「暗視野観察とは」を御参照ください。)
背景を黒にして、ローアングルLED照明を使うと簡易の暗視野観察ができます。

 

金属にに段差や傷があればその部分が白く光ります。

 

透明体(レンズ)上の埃や異物も白く光ります。

 

鏡面体(シリコンウエハー)上の埃も白く光ります。

 

ローアングルLEDリング照明
GR56-N
ローアングル バーLED照明
(お客様からご依頼いただいた特注品)