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2011 年 6 月 のアーカイブ

被写界深度について

2011 年 6 月 20 日 月曜日

マイクロスコープなどで被写界深度という言葉がよく出てきます。

被写界深度とは、ピントがあっているように見える被写体側の距離の範囲のことです。

但し、レンズにおいては、一つの設定で厳密にな意味でピントがあっているのは

一点です。一つの平面上にしかありません。

あくまで、一定の許容量を認めることでその前後にも十分に像をむすんでいるといえる範囲が

あります。その範囲を被写界深度といいます。

厳密にピントのあっている点から徐々にピントはずれていきますから、この許容量は

主観的な数字で客観性はありません。

被写界深度は絞りを絞り込む程深くなります。倍率が高くなる程浅くなります。

弊社のUSBマイクロスコープ SGシリーズには絞りがありますので

SG200PCを最大倍率60倍程度にして実験をしました。

下写真のように対象物を45度にかたむけて撮影しました。

絞り開放を開放にした場合と、絞った時の2枚の写真を撮影します。

対象物は基板のICです。

今度は絞りは最大に絞った時の画像です。

今度は0.2mm刻みのガラススケールで比べて見ましょう。

勿論、上の写真が絞りを開放にした時で、下が絞りを絞った時です。

絞った方が被写界深度が深くなることがわかると思います。

絞り付きのレンズを使う場合、絞りを絞ると暗くなるので、取り付けている照明の明るさ、絞りを

バランスよく使うことが大事だと思います。

マイクロスコープの測長システム

2011 年 6 月 16 日 木曜日

マイクロスコープや実体顕微鏡に高機能計測ソフトを

追加して測定システムをつくりことができます。

この時、精度や分解能はどのように考えたらいいのでしょうか?

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画面上でソフトウエアを使って測定するシステムは

測定器ではないので保証精度はございません。

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測定器の場合は基準となる絶対値があるのですが、

このシステムの場合は全てが相対値となります。

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1.校正に使用するスケールの精度、

2.校正の方法(校正エリアや広さ)

3.設定したレンズの倍率、視野 

4.照明、モニタの解像度  

5.対象物の形状(凹凸) 等で変わってしまいます。

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残念ながらお客様の使用条件で御確認いただくしかありません。

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仮に視野を 30mmX24mmに設定、解像度1600X1200のモニタを使用すると

30mm/1600dot=0.02mm/dot となり

1ドット当たり0.02mmとなります。(長手方向)

これが、この使用条件での分解能となります。

計算上は同じドットを測定者が繰返し、クリックできるのであれば±0.02mmとなります。

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但し、ここに測定エッジをどこまで正確にクリックできるかの測定者の技量以外に

照明や、測定物の凹凸も関わってきます。(見え方の繰返し精度)

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はやり、デモ機等でお客様に実際に使っていただくのいが一番かと思います。

どうしても、保証精度を確定したい場合は、絶対値のわかる測定器を介在させる方法があります。

例えば下記写真のようにXYテーブルをとりつけます。

ソフトではクロスライン等の基準線だけを

表示させ、実際の測定は画面をみながら、マイクロメーターを動かして

測定すれば、マイクロメータが絶対値となり、精度もこれに依存します。

(投影機に近い使い方です。)

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